納米線/碳納米管及電子器件測試方案
納米線（Nano wire）為一種橫向上被限制在100納米以下（縱向沒有限制）的一維材料，根據(jù)組成材料的不同，納米線可分金屬納米線、半導(dǎo)體納米線和絕緣體納米線。
作為納米材料的一種，納米線具備泰克應(yīng)用文章《納米材料綜測試綜述》中概述的納米材料全部特性，在電子、光電子和納電子機械中，納米線起到很重要的作用。它同時還可以作為合成物中的添加物、量子器械中的連線、場發(fā)射器和生物分子納米感應(yīng)器等。
碳納米管，又名巴基管，碳的同素異形體，是一種典型的納米纖碳納米館的分類，如下圖所示。
碳納米管的應(yīng)用十分廣泛，下圖示意出碳納米管的典型應(yīng)用。
碳納米管的性質(zhì)可以從電學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)、儲氫及其他性質(zhì)五個方面表征，其電學(xué)性質(zhì)如下圖。
碳納米管特殊的電學(xué)性能，使其被廣泛用于制作碳納米管電子器件。
納米線/碳納米管及電子器件測試：
碳納米管電子器件主要包括碳納米管場發(fā)射器、碳納米管FET、單電子晶體管、碳納米傳感器、碳納米管存儲器、碳納米管開關(guān)、碳納米管集成電路和碳納米管計算機。
納米線碳納米管電學(xué)性能測試面臨的挑戰(zhàn)已經(jīng)在《納米材料測試綜述》討論過，在此不再贅述。
I-V測試是納米線碳納米管最基本的電性能測試，SMU是基本測試以及不同種類的碳納米管，需不同的SM U進行測試，SMU選擇依據(jù)為：
被測樣品電阻范圍施加或測試的電流范圍以及施加或測試的電壓范圍
被測樣品所需SMU通道數(shù)
被測樣品是否有脈沖測試需求
被測樣品是否有電容測試需求
SMU選型指南詳見《納米材料測試綜述》。
納米線/碳納米管及電子器件綜合測試方案：
硬件：
4200A-SCS主機
4200 SMU模塊，模塊數(shù)量由通道數(shù)決定
4200PA，選件，依據(jù)最小測試電流的數(shù)量與SMU模塊匹配
4225 PMU，選件，依據(jù)脈沖需求定，模塊數(shù)由通道數(shù)定，是否加放大器由最小測試電流定
4210CVU，選件，有電容特性測試需求時配置
納米探針臺（第三方）。
軟件：
Clarius
優(yōu)勢：
測試范圍寬，滿足全部種類納米線/碳納米管及其電子器件測試需求；
多種配置滿足不同的應(yīng)用需求；
內(nèi)置多種納米線/碳納米管器件庫，調(diào)用后自動生成相應(yīng)器件的測試流程。
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