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吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案

發(fā)布日期:2022-08-09     作者: 安泰測(cè)試     瀏覽數(shù):   

電阻測(cè)試是表征材料特性的最常用測(cè)試手段,在某些應(yīng)用中,用戶需要進(jìn)行極端微小電阻(Ultra-lowresistance)測(cè)試,例如納米材料,超導(dǎo)材料,繼電器開(kāi)關(guān),低電阻材料、連接器的測(cè)試,或者精密的熱量測(cè)定和研究領(lǐng)域。這些被測(cè)件通常具有非常高的導(dǎo)電性和非常小的電阻阻值,對(duì)測(cè)試連接方案有很大挑戰(zhàn)。在進(jìn)行這類材料和器件的測(cè)試過(guò)程中,為了最大限度的降低被測(cè)設(shè)備的自熱效應(yīng),確保待測(cè)件的安全和測(cè)量的準(zhǔn)確性,通常會(huì)使用加流測(cè)壓的方式,在被測(cè)物兩端施加可控的微弱精密電流信號(hào),通過(guò)歐姆定律測(cè)定被測(cè)件的電阻阻值。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖1)

上圖為融化斷裂的納米管,由于施加電流過(guò)大自熱引起斷裂

在微小電阻測(cè)試領(lǐng)域,泰克公司提供的微小電阻測(cè)試方案, 通 過(guò) 使 用 吉 時(shí) 利 高 精 度 電 流 源622X(100fA~100mA輸出可調(diào) ) 或 2400 系列源表,以及納伏表2182A(1nV 靈敏度 ) 組合成為完備的測(cè)試解決方案,完美解決了在微小電阻測(cè)試過(guò)程中經(jīng)常遇到的問(wèn)題,使電阻測(cè)量靈敏度高達(dá) 10nW。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位機(jī)軟件和測(cè)試夾具,可以一站式解決用戶在儀表與待測(cè)件連接,測(cè)試結(jié)果存儲(chǔ),以及數(shù)據(jù)分析過(guò)程中遇到的繁雜問(wèn)題,提高測(cè)試效率。

方案特點(diǎn):

● 極高的電阻測(cè)試分辨率和大測(cè)試量程

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖2)

相比其他方法,622X+2182A方案提供了高達(dá) 10nW的電阻測(cè)試分辨率,提供了極高的性價(jià)比。

● 更好的發(fā)熱控制

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖3)

622X電流源輸出的電流分辨率最高可以達(dá)到 100fA,

可以精確控制加載在待測(cè)件兩端的電流大小,確保待

測(cè)件處在安全狀態(tài)下

● 更先進(jìn)的測(cè)試方法,消除熱電動(dòng)勢(shì)

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖4)

可以使用DeltaMode 模式消除,自動(dòng)觸發(fā)電流源使信號(hào)極性交替變化,電流反向法消除了任何恒定的熱電失調(diào),確保測(cè)量結(jié)果反映真實(shí)電壓值,大幅度降低測(cè)量中的噪聲信號(hào)

● 交鑰匙方案設(shè)計(jì),可以提供完整的測(cè)試夾具方案和上位機(jī)數(shù)據(jù)采集處理軟件

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖5)

低阻測(cè)試軟件界面

系統(tǒng)構(gòu)成:

系統(tǒng)主要由 622X 高精度電流源 ( 或 2400 系列高精度源表 )、2182A 納伏表、測(cè)試夾具、轉(zhuǎn)接盒和上位機(jī)軟件構(gòu)成。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖6)

622X精密電流源可以輸出正負(fù)電流,編程分辨率高達(dá) 100fA,6221 可以輸出帶寬在 1mHz~100KHz的交流和任意電流波形。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖7)

2182A具備 1nV 電壓測(cè)試分辨率,提供兩個(gè)獨(dú)立測(cè)試通道,可以與 622X 配合實(shí)現(xiàn) DeltaMode 測(cè)試。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖8)

CT-MICR-ADP 轉(zhuǎn)接盒

方案還提供專用轉(zhuǎn)接頭配件CT-MICR-ADP,可以將622X和 2182A 的各種輸出接口 ( 插片或者鱷魚(yú)夾 ) 統(tǒng)一轉(zhuǎn)接為標(biāo)準(zhǔn)的 4 終端 BNC 接口,方便與其他夾具或者探針臺(tái)進(jìn)行互連。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖9)

通過(guò)CT-MICR-ADP 連接微小表面貼裝器件的夾具上位機(jī)測(cè)試軟件 Cyclestar-MICR 提供了多種測(cè)試模式,包括 R-T 功能,電流掃描測(cè)試功能,DeltaMode 模式。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖10)

在DeltaMode下的軟件測(cè)試界面

軟件的 Pro 高級(jí)版還集成了脈沖測(cè)試功能,微分電導(dǎo)測(cè)試模式和 622X 任意波形輸出功能。

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖11)

Pro 版本提供的脈沖、微分電導(dǎo)和任意波形輸出功能

一體化測(cè)試方案可以幫助客戶在短時(shí)間內(nèi)搭建起微小電阻測(cè)試環(huán)境,針對(duì)不同物理尺寸,不同連接方式,和不同測(cè)試方法都可以快速方便的進(jìn)行連接測(cè)試,并在電腦端直接記錄獲取數(shù)據(jù)進(jìn)行后續(xù)分析。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖12)

使用CT-MICR-ADP轉(zhuǎn)接盒還可以將測(cè)試系統(tǒng)與探針臺(tái)或其他夾具進(jìn)行連接

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖13)

典型方案配置:

吉時(shí)利微電子半導(dǎo)體行業(yè)方案(圖14)

 安泰測(cè)試作為吉時(shí)利代理商,將和吉時(shí)利廠家一起,以客戶為中心,為客戶提供從解決方案、產(chǎn)品選型、儀器銷售到儀器維修、儀器延保、校準(zhǔn)、預(yù)防性維護(hù)以及儀器培訓(xùn)等為一體的服務(wù),不管是售前還是售后,都讓用戶不再煩惱。


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